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作者:an888    发布于:2024-01-22 16:58   

  天游-平台注册!上期为大家介绍砷化镓生长技术、外延技术、设备商与代工企业,本期为大家介绍芯片制备环节、半导体芯片封装形式、光泵浦源及市场格局。

  根据宏捷2017年财报,其代工生产的GaAS晶片主要供给手机、WLAN以及光通讯零部件。整个制造过程共分为5个环节。分别是前段制程、PCM测量、后段制程、晶体切片、检验入库。

  具体以VCSEL芯片侧向选择氧化制备工艺,其过程一般包含沉积二氧化硅,一次光刻,台面刻蚀、选择氧化、去除二氧化硅、沉积二氧化硅、二次光刻、腐蚀出光口、三次光刻、蒸镀P电极、合金、减薄衬底、蒸镀N电极等9个环节。

  在光芯片代工领域,目前全球主要有稳懋、宏捷、寰宇、联颖、GCS(全球通信半导体)等。2017年稳懋约占72.7%的市场份额,基本形成一超多强的局面。

  其中对比看来,稳懋体量最大,各种砷化镓和磷化铟产品均有涉及,优势明显。市场集中度已经达到一定程度,未来大概率延续目前一超多强的局面。

  芯片的封装主要有F-mount和C-mount两种。芯片封装是将芯片直接焊接在热沉上,将芯片发光时产生的大量热散掉,以保证芯片正常工作。

  C-mount结构为一正方形,中心有螺孔,用来固定芯片。C-mount的底座是正电极,也称为热沉,材料一般是导热率高的铜或其他高导材料。C-mount结构简单、价格适中、封装功率也适中,因此得到了广泛运用。但是由于自身材料和机构的限制,散热性相对较差,用于较高功率芯片封装时,多会将芯片烧坏。

  F-mount的结构是长方形,体积较C-mount大,比C-mount多了一个定位孔。两个定位孔可以让芯片定位更加稳固、散热面积更大。F-mount类型封装的功率更稳定,寿命更长。F-Mount 型封装时芯片不是直接焊接在热沉上的,从图中可以看出芯片与底座之间还多了一层物质,这层物质被叫做过渡热沉。过渡热沉十分重要,首先它解决了芯片与底座材料热膨胀系数不匹配的问题;其次由于通电时芯片温度升高带来的热变形概率能有效降低;然后能减小焊料产生空洞而带来的不利情况;最后能提高焊接强度,保障封装质量。F-Mount 型封装目前用于单管功率比较大的激光器封装。

  保护壳封装主要有TO封装和蝶形封装两类。这种封装结构一般是将COS(chip on sink)芯片用其他材料的保护罩密封起来。

  TO封装结构小巧,内部仅有二到四根引脚,容量十分有限,做一般为三个管脚。TO型半导体激光器工作激光从管帽中间射出。TO封装加工成本低、制作简单,被广泛运用。

  蝶形封装的壳体两侧有很多金属材料管脚,外形看上去像蝴蝶,因此称为蝶形封装。蝶形封装的尺寸较TO封装大很多,可以在内部放置敏感元件。因为蝶形封装散热能力较好,一般用于功率较大的半导体激光器。

  单管是将激光芯片封装后形成的发光单元,激光 bar 条可以看做是多个半导体单管并排形成的激光器单条,泵浦功率更高。

  bar条按排列形式可以分为垂直叠阵及水平阵列。水平阵列用于侧面泵浦固体激光器,要求更高的光输出功率但并不要求光束会聚,而垂直叠阵可以得到较高的输出功率。

  国内厂商虽然掌握泵浦源制造技术,但核心激光芯片仍依赖进口。国内激光器厂商如锐科、创鑫等致力于通过实现光纤激光器原材料自制以降低成本,泵浦源等关键器件制造技术已被掌握,但中高功率半导体激光芯片仍依赖进口。此外,受限于自有产能不足,锐科激光与创鑫激光部分泵浦源仍需要对外采购。国内外泵浦源供应公司主要有中国凯普林、中国长光华芯、和美国 DILAS(Coherent)等,但境外公司采购价相对较高并且存在技术封锁,国内只有少数企业生产中高功率泵浦源符合要求。

  不同的泵浦源的发光波长决定了其用途。光纤在 915nm 和 976nm 波段存在两个明显的特征吸收峰,915nm 波段吸收系数相对较低,吸收谱较宽;976nm 波段吸收系数是 915nm 波段的 2-3 倍,但吸收谱相对较窄。976nm 波段泵浦的光效率可达到 85%,而 915nm 波段泵浦的光效率为 75%。

  目前国内主流的激光器厂商为 915 路线,高功率升级降本驱动 976 路线nm 波段的半导体激光器作为泵浦源,受益于 915nm波段较宽的吸收谱,激光器整机受温度影响较小,在 915nm 波段增益有源光纤的吸收效率低,为达到整机光纤激光器更高功率的输出,在技术上要求使用更高的 976nm泵浦功率和更长的有源光纤。

  虽然 976nm 泵浦方式有更高的吸收率及光转换效率,但相比 915nm 泵浦方式在光线处理和耦合上的技术难度更大,国际上只有少数激光器厂商像德国的 IPG、美国的DILAS(Coherent)在量产工业激光器中大规模使用 976 泵浦源。